第168章 宣誓**
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“周董,你们是如何把光刻机工件台运动精度误差控制在如此低程度的?”
童院长此时开口开口问道。
“我们自身研制出了超高精度的脉冲编码器可以对直线电机进行纳米级别的移动,另外控制系统里面导入了动态误差补偿算法。”
周晓东说道:“我们在大功率脉冲电源技术和功率放大器技术上技术底子做得还是很不错的,自身能研制出直线电机超高精度的脉冲编码器和高精度驱动电源模块和高性能的功率放大器模块,这方面的技术我们比国外产商做得还要好。”
“另外我们自己研制的超高精度光栅尺可以做到一纳米的分辨率,运动定位误差在四纳米,性能比德意志的雷尼绍光栅产品还要好。”
“这……你们是如何做到的?”
童金亮吃惊地问道。
“是这样,我根据莫尔条纹及四倍频直接细分的原理自己写了一套细分算法,这套算法写入了一颗专用插值芯对前端输出的正交信号进行插值细分,再利用编程芯片对插值细分后的信号进行二次细分,通过测试验证后我们设计的这套电子细分盒实现了高达二百五十六倍的细分,目前德意志那边只能做到一百二十八倍的细分。”
“……”
在座的这些专家院士半天说不出话来。
“这套超高精度光栅尺装置做出来后和我们研制的直线电机产品配套,可以说解决了国产一众半导体设备超高精密运动部件运动测控定位的技术需要。”
周晓东开口说道。
他自己带着星环科技、牧野电子科技公司和玄思科技公司的这些技术团队亲自动手搞定了超高精度的光栅尺装置和磁悬浮直线电机等多项关键子系统装置后,总算是顺利地将光刻机需要的工件台系统和掩膜台系统给搞出来了。
拿下了这方面的关键技术,现在星环科技公司这支技术团队已经开始在研制晶圆级键合设备和激光退火设备,雅迪电子科技公司这边在研制研制全自动引线键合设备和多种晶圆清洗机设备,而玄思科技公司则在研制相干探测显微镜设备和椭偏仪设备以及热波系统检测设备,用来前道芯片制造工艺的检测。
“我知道中科院下面有多家研究所能够研制出世界领先的的激光晶体材料,我们国内在这个技术领域基础研究是非常厉害的,在这个基础上是可以研制出这种大功率深紫外波长的固态激光光源作为光刻机设备光源系统的的。”
“另外光刻机设备需要的镜头组需要抛光精度低于一纳米以以下,我们需要这种磁流变抛光设备和抛光材料才能做到,目前这样的设备米国和德意志方面是绝不会给我们的,希望能够得到中科院在的支持。”
“你们需要磁流变抛光设备来加工镜片?”
此时坐在那里的一名国防科工局官员此时开口说话了。
“是的,目前只有这种设备技术才能将光学镜头器件的加工精度达到一纳米以下,虽然我们和**平先生有研制这种离子束抛光设备的研制项目,不过这种加工精度最高也只能做到几纳米,为了能持续推进制程工艺的进步,我们必须做出这种最高的光学孔径数值镜片才能满足这个要求。”
周晓东开口说道:“为了加工出这种最高精度的光学器件,我们绞尽脑汁地想了很多办法,用了化学抛光工艺技术和超声波抛光工艺技术,因为这些镜片每一块镜胚面积很大,我们的高级技师想了很多办法,报废了很多材料后也只能把光学镜片的光学孔径数值做到零点七的样子,勉强能支撑我们把光刻工艺制程做到零点一三微米的样子。”
“**,国防大学那边精密加工实验室有一个团队在做磁流变技术设备的的研究,到现在已经研发了九年时间,目前已经做出了试验样机产品……”
这名官员对大**说道。
周晓东听到这句话后那是吃了一惊:在李四季大老板向他讲述的那样,国内差不多是两千年后才陆续看到这方面的论文,没想到国防大学那边在八十年代末就启动了磁流变技术的研究!
“这套设备能够投入使用了吗?”
大**高兴地问道。
“设备是造出来了,不过在这种磁性抛光浆料上技术不成熟……”
大**此时开口说道:“那让这个实验室和周晓东的公司一起研制,加快这方面的进度。”
听到这话,周晓东心中大喜,真是打瞌睡就有人送枕头,想不到这次竟然能得到国防科工局方面的助力!
“那太好了,我们一定竭尽全力让这种磁流变设备和抛光浆料材料技术成熟起来,不断地推出更先进的光刻机产品设备出来,助力我们国家的半导体产业不断前进!”
“周董,既然你们研制的光刻机设备已经开始投入实验生产线测试试用了,我们中科院这边是可以承担这套设备许多子系统部件的研制供应的。”
童金亮此时开口说道。
“那就太好了!”
周晓东开口说道:“光刻机设备极为复杂精
密,我们使出吃奶的劲才勉强搞定工件台系统,光源系统和镜头组等子系统部件需要全国通力合作才能实现国产化并形成配套产业链的。”
“像这么一套光刻机设备包含了十几个分系统,差不多三万个机械件,几百个多个传感器,每一个都要可靠稳定地进行工作,星环科技公司不可能什么都研发,海外产商对我们严格封锁,我们只能依靠中科院下面的众多科研院所将光刻机设备分系统需要的技术进行拆解研制,然后由星环科技公司进行集成。”
周晓东开口说道:“我们重点发展的几个产品项目是完全可以让国内形成十几条晶圆生产线的,光是光刻机设备需求量在数百台以上,光是这一个产品设备就能形成不小的高端产业链。”
周晓东此时卖力地给在座的各位画着大饼。
“这些海外半导体产商刚开始研制出来的半导体设备也是不怎么样的,不是这样的问题就是那样的问题,中间通过在使用过程中积累的数据经验不断地提升技术性能,我们同样也是可以做到的。”
“目前我们已经是掌握了比较完整的芯片制程工艺技术,有好几种工艺技术是我们独有的,我们会把这方面的工艺需求反馈给这些科研所,大家一起针对这些工艺要求进行针对性的开发,这样可以比较快地开发出我们需要的设备和属于我们自己的技术专利。”
“周董你的思路是非常正确的,这样才能快速地让我们国内的半导体设备技术发展起来。”
童金亮点头道,他在心中不得不佩服周晓东国内半导体产设备产业发展思路之精准独之处。
“虽然我们现在掌握了一定的制程工艺,不过还有非常多芯片器件的制程工艺我们还没有掌握,在座的各位好几位都是芯片器件研究设计的科学家,研究了多种新器件,发展了相应的新器件模型,我是希望这些新器件新设计走出实验室,能够在民品市场里面获得不错的收益。”
周晓东此时对王远洋说道:“王院士,您研究了多晶硅薄膜氧化动力学和电学性质,建立了多种模型和新技术,设计了多种上体硅晶体管结构,另外在微机械技术上进行了深入的研究,我是希望您设计开发的这些新器件结构和工艺授权给我们,一起合作开发出用在消费电子产品上面的芯片器件。”
其实国内这些微电子专家院士在半导体技术的基础研究是很好的,只是受限于国内落后的半导体芯片加工技术,流片出来的芯片器件在性能上比国外类似的产品要差,再加上很难打开民品市场,产量是很少的。
这次有机会跟这些技术大佬们见面,周晓东想抓住机会从中科院这边得到一些技术专利来充实星环科技公司这边的技术专利库。
王远洋眼中一亮,笑着道:“这个要看童院长如何安排了。”
在座的这些专家院士不少人已经知道了眼前这个年轻人是鹏城市那边的数家公司的董事长,而且听说几家公司营收规模做得很大。
现在这个周董有意从中科院这边买技术专利,王远洋心中当然是乐意的,毕竟他手中掌握了不少的技术专利,能把这些技术专利转化为实实在在的芯片产品卖出去谁不乐意呢,以前中科院研发设计的一些芯片器件在民品市场上根本就卖不动。
因为力晶科技公司的六英寸晶圆生产线工艺技术一年前才开始量产,还只能做到零点八微米,通过技术升级现在已经能做到零点三五微米的制程工艺。
现在星环科技公司的实验生产线竟然掌握了零点二五微米制程工艺,并且鹏城市现在正在建设两座晶圆厂,这让这些微电子技术专家院士是非常高兴的。
周晓东跟这些专家院士畅谈了一番,临近中午才离开。
“童院长,你们跟这个周晓东谈了这么久,对他写的这份报告是怎么看的?”
在周晓东离开后,大**此时将童金亮给留了下来,开口问道。
“**,周晓东写的这份报告我们是赞同的。”
童金亮有些兴奋地开口说道:“我们中科院其实仔细研究过周晓东和他技术团队申请的技术专利,不得不说这个周晓东确实是个天才中的天才,尤其是他在数学算法上的造诣极为惊人,他精通从芯片设计开发到芯片制造环节中涉及的各种算法和技术,实在是太难得了!”
“他的这些建议确定没有问题?”
“周晓东对国内外的半导体产业情况极为清楚,提出来建议方案精准独到,我们想不出比这个更好的方案出来了。”
大**点点头,看着童金亮说道:“既然如此,那事不宜迟,中科院这边写一份具体实施方案报告出来,相关的技术研发项目马上开始动起来。”
周晓东回到酒店刚下车,余海洋等人陪同着一名中年男人从酒店走了出来。
“周董,你好!”
中年男人满脸笑意地向周晓东伸出了左手。
周晓东上前两步笑着握住了这个男人的手,笑着说道:“罗台长,很高兴见到您。”
眼前这个男人正是央视的副台长
罗家明,周晓东见到他后笑得那个开心呀!
作为国内最大、最早成立的电视传媒机构,央视台现阶段来说在全国具有广泛的影响力和很高的权威性,收看央视台新闻联播依然是全国观众日常生活中不可或缺的事情。
周晓东在回来的途中便已经知道了央视台那边会过来做一个新闻采访的内容,罗家明亲自跑过来,足见对这次的采访是十分重视的。
其实昨晚上的新闻联播播出之后,多家电视台和新闻媒体就争着想采访周晓东,不过周晓东自己都婉拒了,让余海洋和谭小松等人接受采访宣传自家的产品技术。
不过这次央视台的采访是上面的意思,周晓东是无法拒绝的。
罗家明在过来之前自然对周晓东做过了功课,知道这位周董可不是商人这么简单,而是深受高层器重的技术天才,昨天跟大**会面谈了好久,今天又去了北海那边面见大**,这份待遇放在一个年轻人身上那是极为罕见的。
央视台这边不敢怠慢,罗家明亲自跑了过来以示重视。
周晓东笑着跟罗家明握手的时候心中倒是非常想问问一个多月后央视标王的事情,毕竟现在央视标王的含金量还是比较高的,他想给imod数字音乐播放器产品弄个标王宣传一下。
罗家明和周晓东寒暄了一番,随后一同走进了酒店。
这次采访的地点定在了岭南省驻京办酒店这边,在正式录播之前,罗家明带着周晓东国跟接下来的采访记者白君易主持人见面。
“周先生,您好,我叫李明玉,负责这次采访内容的采编组长。”
周晓东跟罗家明走进一间房间,后者向周晓东介绍这次采访团队成员的时候,一名身材高挑、穿着十分时髦的妙龄女子此时主动向周晓东笑着伸出了手。
眼前的女子肤白貌美,约莫二十
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